VOCs解決方案

  • 特殊氣體/
    製程VOCs吸附/濃縮
  • 製程VOCs吸附
    (IPA/PGME)
  • 環境VOCs吸附
    (TSA/PSA)
  • 製程VOCs吸附
    (中低濃度IPA)
  • 微量環境VOCs吸附
    (手動更換型)
  • Acetone(丙酮)
    與生物降解

特殊氣體/製程VOCs吸附/濃縮

製程前驅物氣體(VOCs)。

特性 特殊氣體、VOCs分子、難以處理、黏性。

問題 現有VOCs轉輪無法處理高黏度、高沸點與金屬氧化物氣體,且會造成轉輪內的吸附孔洞與表面被阻塞,無法以加熱再生或其他清潔方式來恢復吸附效能。 前驅物氣體為特殊或是高黏性VOCs氣體無法使用傳統RTO燃燒。

解決方案 1. 將具毒性與黏性的前驅物氣體吸附至拋棄型纖維吸附材上,之後作為固體廢棄物處理。
2. 將其餘揮發性溶劑以再生型纖維吸附材吸附,濃縮後排放至末端轉輪-RTO系統。

優勢 1. 纖維吸附材可於製程現場端,有效吸附處理VOCs轉輪不能處理之製程前驅物氣體(各種毒性、高黏性、影響轉輪壽命之氣體都可以做高選擇性吸附)。
2. 纖維吸附材可有效移除降低VOCs轉輪吸附能力之氣體,延伸客戶現有VOCs轉輪之使用壽命。
3. 纖維吸附材壓損低,其高效率吸附可以有效降低VOCs排氣濃度,提升處理效率。

製程VOCs吸附(IPA/PGME)

半導體製程端清洗用溶劑,產生大量揮發性氣體。

過去作法 製程氣體處理端使用噴淋塔(scubber)將IPA或Acetone清洗至水中。

問題 造成溶劑進入水體,使水處理的成本增加。

解決方案 1.將纖維吸附材安裝於噴淋塔上游,處理高濃度之VOCs,可大幅降低進入噴淋塔之VOC濃度,增加VOCs處理效率並降低末端排氣之VOCs濃度。
2.亦可將纖維吸附材安裝於噴淋塔下游,處理低濃度之VOCs,得到潔淨空氣。

優勢 纖維吸附材可藉由材料的尺寸、規格調整,廣泛適用於高濃度(>100ppm)、中濃(1~100ppm)、低濃度(ppb等級)等不同濃度等級之處理。

EX1

中高濃度處理(安裝於水洗噴淋塔上游

EX2

低濃度處理(安裝於水洗噴淋塔下游

EX3

可以單獨用於各種濃度的處理

環境VOCs吸附(TSA/PSA)

工廠端使用溶劑,造成工廠內環境VOCs濃度高,長期將影響員工健康與工作效率。

問題 VOCs轉輪系統設置成本高、維護不易,空間設置需求大。

解決方案 使用纖維吸附材,組成VOCs濃縮系統,搭配現場抽氣循環管線,將現場VOCs濃度由300ppm降至10ppm以下。

優勢 1. 大幅改善現場VOCs濃度,去除效率>90%,降低員工健康風險與提升工作效益(環境舒適度提升)。
2. 建置費用較現有VOCs轉輪系統低。
3. 高達99%之VOCs去除效率。
4. 安全提升排至RTO之VOCs濃度,有效提升RTO之燃燒處理效率。

製程VOCs吸附(中低濃度IPA)

低濃度IPA處理(ppm級降至ppb級)。

優勢 1. 最低出口濃度為ppb級,並且穩定維持IPA去除率>99%長達120小時以上。藉此證實中空纖維材料於低濃度IPA之高去除效率與高操作穩定性,並透過對於IPA之高吸附量,可延長材料替換時間,降低成本支出。
2. 纖維材料模組於高流量、低濃度IPA去除之應用,不僅達到實驗室模廠等級規格,同時具有高度操作穩定性與卓越VOC去除能力>99.9%。

實驗條件

低濃度IPA吸附(由ppm級降至ppb級)

微量環境VOCs吸附(手動更換型)
FFU/MAU/空調系統吸附過濾

環境因使用溶劑逸散而造成VOCs汙染。

問題 轉輪系統對低濃度VOCs吸附效率差,且建置成本太高。

解決方案 搭配客戶現有FFU/MAU或是空調系統,將濾網安裝於進氣端,吸附現場VOCs。更進一步,可依客戶需求調整材料特性,提供客製化服務。

優勢 1.建置費用低。
2.定時更換濾網,易於管理。
3.材料可重複使用,較現有常見活性碳濾網的長期使用成本更低。
4.依客戶需求設計模組規格。

1

FFU (潔淨室/無塵室)

2

MAU/中央空調/各種空調箱形式

Acetone(丙酮)吸附
配合生物降解再處理

將工廠製程中產生的VOCs,以濃縮系統吸附,並以穩定濃度排放至生物濾床降解。

問題 使用活性碳吸附並濃縮排出產生兩大問題:
1.吸附效率不佳。
2.再生濃度不易控制,濃度過高或過低均易使生物濾床失效。

解決方案 利用纖維吸附材組成VOCs濃縮系統,以穩定濃度將VOC排放至生物濾床降解。

優勢 1.- VOCs纖維吸附材的吸附效率遠高於活性碳。
2.- VOCs纖維吸附材易吸脫附特性,可將吸附的VOCs以穩定濃度排出,系統控制簡易、效果穩定。

CO2解決方案

  • 環境/製程
    CO2去除
  • CO2回收
    再利用

環境/製程中CO2吸附去除

利用-CO2纖維吸附材可將環境到製程中不需要的二氧化碳移除,適用於環境/製程中的碳捕捉、二氧 化碳回收應用。

優勢 可高效率吸附空氣中的CO2,適用於不同濃度等級(ppm ~ %),再生能耗低,吸附之CO2可搭配系統,進行提純回收。

吸附

利用纖維吸附材吸附空氣中的二氧化碳。

吸附後的CO2回收再利用

將空氣/製程中的二氧化碳吸附於 -CO2纖維吸附材之後,可以加熱+真空幫浦再生方式進行脫附,脫附之高純度二氧化碳可收集至儲氣槽中,重新利用。

優勢 1.脫附二氧化碳濃度高。
2.系統能耗低 。
3.再生脫附速度快。

脫附

飽和的纖維吸附材,利用加熱+真空方式再生,將高濃度二氧化碳回收再利用。

H2O解決方案

乾燥空氣 應用方案

20°C/100%的空氣,含有14.4g/kg的水氣。-H2O纖維吸附材,不經由冷凝,可在單一循環操作下,將露點降至-60°C,等同空氣中的水氣含量降至0.006g/kg以下,達到99.95%以上的移除效率。

乾燥設備 應用方案

利用-H2O纖維吸附材設計出的乾燥機,採用加熱再生方式脫附水氣,可大幅降低再生時所需要的能耗。

優勢 1. 吸附效率佳,低操作壓力(操作壓力5kg/cm2,遠低於商業規格的7~10kg/cm2)
2.壓損低,熱傳效率高。脫附能耗較傳統分子篩大幅降低。
3.可依客戶需求設計成1CMM~100CMM等規格,除溼效率不減損,變化彈性高。
4.連續性高效操作 ‒ 雙塔切換 (TSA變溫吸附)
5.產出極度乾燥空氣 ‒ 露點值<-70°C (約1ppmv以下)

H2O於100%RH, 20℃之效能驗證